GFS Gesellschaft für Sensorik GmbH

Die GFS beschäftigt sich seit Jahren mit der Entwicklung und Herstellung von Sensorelementen für Temperatur, Druck und Kraft in Dünnschicht- und Dickschichttechnologie. Ein Schwerpunkt der Tätigkeit ist die Dünnschichttechnik auf Stahl für die Druckmesstechnik in sehr anspruchsvollen Anwendungen. Die unter Reinraumbedingungen hergestellten Schichtsysteme lassen sich über Parameter bei der Schichtabscheidung bezüglich ihrer Funktionseigenschaften exakt modifizieren. Langzeitstabilität, sehr kontrolliertes Temperaturverhalten der Funktionsschichten und hohe Spannungsfestigkeiten der Isolationsschichten verbunden mit den sicherheitstechnischen Vorteilen des Stahlkörpers sind die wesentlichen Merkmale.

Bei GFS stellt die Beschichtungstechnik durch CVD und PVD Verfahren, sowie die fotolithografische und nasschemische Strukturierung von Stahlkörpern die Kernkompetenz dar. Mit modernster Laserabgleichtechnik erhalten die Dünnschichtwiderstände ihren präzisen Sollwert und die Messbrücken ihren Nullpunktabgleich. Metallische Druckmesszellen sind im Nenndruckbereich von 1 bar bis 2000 bar erhältlich.

Auch die Dickschichttechnologie bei GFS ist für die Herstellung von Sensoren optimiert. Mittels Präzisionssiebdruck wird auf keramische Membrankörper die Dehnmessbrücke aufgedruckt. Nach den Prozessschritten Tempern und Lasern bieten die Keramiksensoren für viele Applikationen eine kostengünstige Alternative.

Die Sensorelemente von GFS kommen als OEM Produkte bei diversen namhaften Sensorherstellern zum Einsatz.

‘- Kundenspezifische Entwicklung und Produktion von dünn- und dickschichtbasierten Sensorelementen
– OEM Sensorelemente für Druck, Kraft und Temperatur
– Nickel-Temperaturmesswiderstände
– Dünnschicht auf Stahl Drucksensoren